Überragende Ergebnisse mit nachhaltigen Produkten.
Beim Ätzen wird Material von der Oberseite eines Siliziumwafers abgetragen, um das mittels Fotolithografie übertragene Muster zu erzeugen.
Opteon™ Hydrofluorolefin (HFO) Specialty Fluids sind in diesem Schritt der Halbleiterherstellung von unschätzbarem Wert, sowohl als Tenside, (welche die Leistung von Säureätzflüssigkeiten verbessern) als auch als Mittel zur Entfernung von Fotolack und Polymerrückständen von Wafern.
Die richtigen Leistungseigenschaften in einem Low-GWP-Fluid.
Die niedrige Viskosität, die niedrige Oberflächenspannung und die hohe Löslichkeit der Opteon™ Specialty Fluids empfehlen sie für eine Vielzahl von Präzisionsätzanwendungen. Opteon™ Produkte weisen ein niedriges Treibhauspotenzial (GWP) und ein Ozonabbaupotenzial (ODP, Ozone Depletion Potential) von Null auf, was sie zu einer nachhaltigen Wahl gegenüber herkömmlichen Flüssigkeiten macht. Außerdem sind Opteon™ Flüssigkeiten nicht brennbar und sicherer in der Anwendung als viele stark lösliche Flüssigkeiten.
